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GE压力传感技术发布新型纹波蚀刻谐振(TERPS)压力传感器技术平

日期:2019-04-03 作者:admin 来源:平台  

GE压力传感技术发布新型纹波蚀刻谐振(TERPS)压力传感器技术平台RPS8000-GE检测与控制技术

产品经理Steve Sajben解释说,通过继承我们的Drucker技术,我们几年前就能够提供RPT系列硅共振产品。在此期间,我们通过公司和相关研发机构的合作,进一步扩大和发展了更先进的制造工艺,使GE提供的压力传感器不仅具有硅谐振式压力传感器的固有精度和稳定性。而且,它在、和机械封装的温度范围内有了很大的改进。

沟槽蚀刻谐振(TERPS)压力传感器根据GE现有的谐振硅压力传感器工作。硅谐振结构由静电场驱动。当对隔膜施加压力时,硅谐振器像吉他弦一样伸展,改变其频率,这与施加的压力直接相关。

由于单晶硅结构的机械特性,谐振硅压力传感器比压阻和许多其他压力测量技术更精确和稳定。主要特征是硅在其断裂点之前是完全弹性的。完美的机械性能为传感器带来高质量的共振(高Q因子),其频率稳定性不受产品电子特性的影响。相反,压阻技术需要将电阻元件引入硅晶体结构中。这些应力敏感电阻器的电气特性不稳定且对电增益敏感。由于谐振传感器充分利用了硅的机械特性,因此它具有非常低的滞后和重复性误差以及非常好的长期稳定性。温度特性的可重复性使其得以纠正。这些特征共同为沟槽蚀刻的谐振压力传感器创造了非常高性能的压力和温度变化。

通过使用深反应离子蚀刻工艺技术,它可以在腔内构建任意复杂的几何形状。这对于优化谐振器的设计和性能以实现更高的压力范围和温度范围是必要的。此外,硅熔融粘合的使用允许传感器的组件分开单独处理,在熔化在一起后保持单晶硅的性质。同时,传感器组件设计的极大灵活性使其具有更高的压力和温度范围。

这两个过程伴随着其他专有设计组件,例如新的频率检测方法,从谐振器获得更强的信号,允许传感器封装在重油隔离膜片中。与仅限于干燥,无腐蚀性气体的其他高精度传感技术相比,这是一项重大改进。此外,沟槽蚀刻谐振压力传感器中相关电子器件的进一步发展使它们能够应用于更高温度的环境。关于GE检测与控制技术

GE检测和控制技术业务是传感和测量,无损检测,状态监测和自动优化控制领域的行业领先创新者,可帮助客户实现准确的、效率和安全性。其传感器测量产品广泛应用于航空航天、石油和天然气、电源、运输、医疗等行业。该公司在25个国家拥有40多家公司,是GE能源集团的一部分,为客户提供更智能,更高效的解决方案。有关更多信息,请访问公司网站www.gesensinginspection.com。

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